蒸发镀膜的基本工艺流程是：

镀前准备→抽真空→离子轰击→烘烤→预熔→蒸发→取件→膜层表面处理→成品

1.镀前准备

工序包括镀件清洗、蒸发源制作与清洗，真空室镀件夹具清洗、安装蒸发源、装镀件等。

(1)镀件的清洁和处理：

膜层与镀件表面结合力的大小是产品质量重要的指标。它是由许多因素确定的，镀膜前的表面处理是最基本的因素之一。镀件表面若有油脂、吸附水、灰尘等会降低膜层的结合力，影响表面粗糙度。

化学除油。各种不同的金属与非金属镀件应采用相应的脱脂除油工艺，具体方法可在本网技术栏目搜索除油查看相关文章。

静电除尘。镀件在成型的过程中容易带静电，而使膜层产生针孔或降低膜的结合力，因此在涂底漆前须除去静电。

涂底漆。一般蒸发底的膜层厚度0.05~0.1um，而普通镀件的表面不平度为0.5um，膜层的厚度远不足以填补凹坑。为降低表面粗糙度，一般在镀件表面涂7~10um的特制底漆，以消除凹坑，取得整平表面的效果。

(2)蒸发源的制作：

按照产品的使用要求和镀件的材质，选择适当的蒸发材料是获得优质膜层的基本条件。

选用金属膜材料的基本原则是：应有良好的热稳定性和化学稳定性，机械强度高，内应力低，并有一定的韧性，与底漆结合性良好，反光率高，真空中放气量小;材料来源广，价格低廉，具有相应的蒸发源。

不同的蒸发材料，需选用相应的蒸发源和蒸发镀方式。

(3)真空室和镀件夹具的清洗：

有内罩的真空室污染，可取下罩清洗或更新，若无内罩可用碳酸钙擦拭，再水擦，最后用无水乙醇擦净。

常用的铝夹具可先用20%NaOH液浸泡至表面呈褐色，再用流水冲洗净，用HNO3浸至褐色消失，再水洗烘干。

(4)安装蒸发源：

注意戴脱脂手套，工具要事前脱脂。特别注意蒸发源与电极良好接触。

(5)放置镀件：

应平稳牢固放置在镀件地和镀件夹上，以防蒸发时因夹具旋转而将镀件抛离夹具，需戴脱脂手套，不得讲话，保持镀件夹具清洁。

2.抽真空步骤

打开冷却水阀，调节到所需水压，接通总电源，关闭通往真空室的大气阀门，关好管道阀门，启动机械泵电源，打开预真空阀。此时机械泵对真空室抽气， 后进行离子轰击，接通扩散泵加热电源，关闭预真空阀门，待扩散泵达到工作要求时，关闭真空阀门，打开管道阀门，打开高真空阀门，此时，扩散泵、机械泵对真空室进行抽气，当真空度达到一定数值后进行烘烤、预熔和蒸发。

3.离子轰击

辉光放电时，离子轰击电子获得很高的速度，在镀件周围因电子较大的迁移率而迅速带有负电荷，在负电荷吸引力的作用下，正离子轰击镀件表面，镀件表面有能量交换，在镀件吸附层和活性气体之间发生化学反应，达到清洁表面的效果。

离子轰击的条件是剩余气体压力稳定在0.13~13Pa，电压为1.5~10kV，时间为5~60min。

4.烘烤

可加速镀件或夹具吸附的气体迅速逸出，有利于提高真空度和膜层结合力，烘烤时需注意，对于非金属烘烤温度要低于镀件的热变形温度20~30℃，对金属烘烤一般不超过200℃。

5.预熔

可除去蒸发材料中低熔点杂质和蒸发源及蒸发材料中吸附的气体，有利于蒸发的顺利进行，预熔的真空度一般为6.6×10-3Pa，时间以完全熔化为止，对吸湿性大的物质应反复预熔，总的要求是在蒸发材料升温到蒸发温度时，真空度不再下降。

6.蒸发

蒸发技术对镀层质量影响较大，对一般金属、特殊金属和化合物都有不同的要求，例如对某些金属需快速蒸发，而对另一些金属则不宜用，加热方法及蒸发源的形状也要根据蒸发材料的不同而定。

文章来源蒸发镀膜工艺流程及步骤介绍 - 环球电镀网 (hqddw.cn)